�쥪��1300S�ؤΥ��饹���ݺ����ˤ���Զ�����
 |
���ϰ������� |
 |
| �� |
���ʤ��˲�������������Ϥ��Ʋ�������
|
|
������ˡ |
|
STEP1
���������ŻҸ���������
�˲����������̼��դ��������ŻҸ������Dz��Ϥ����Ȥ������˲��������ϰ�ʪ�������̤Ǥ��뤳�Ȥ��ä���
|
 |
STEP2
��SEM/EDX����ʬ�ϲ���
�������̤�SEM/EDX�Ǹ���ʬ�ϲ��Ϥ�Ԥä��Ȥ�����������ʪ����Ⱦ�ϥ����Ǥ�ޤ�Ǥ������Ȥ��顢��ʪ�ϥ��饹���ݤǤ��������Ǥ����� |
|
|
���Ϸ�� |
|
| �� |
�����ڴ����Υѡ������ˤ�ꡢ���饹���ݤ���������˻�α�������κ����ˤ���˲������ȹͤ����롣 |
|
���͵��Ѿ��� |
|
| �� |
��ʪ�����ʤΰ�ĥ�����ǿ��٤��㲼
|
| �� |
ñ�� |
��ʪ������ |
���������� |
| ��ĥ�������� |
Mpa |
77 |
78 |
| ��ĥ���ǿ��� |
% |
8 |
56 |
|